Лазерная обработка

При воздействии светового излучения на поверхность ТПР происходит частичное его отражение, а частично лучи проникают во внутрь пленки, поглощаются в ней и достаточно быстро превращаются в тепло.

При этом удельная мощность может достигать 15-20 кВт/см . В результате такого воздействия резистивная пленка испаряется и сопротивление ТПР увеличивается. Такой метод очень прецизионный (точность до 0,01%), характеризуется малой шириной и чистотой реза, дает возможность подгонять резисторы из любых материалов, исключает повреждения близлежащих элементов.

Электронные и ионные методы подгонки

Электронно-лучевая подгонка обладает всеми преимуществами лазерной. Мощность пучка электронов может достигать 10 Вт/см. Однако для проведения такой подгонки необходим вакуум.

Ионно-лучевая обработка также проводится в вакууме. Здесь используется ионный (аргоновый) луч с плотностью тока ~ 0,5мА/см2. Такая энергия способна фрезеровать резистивные пленки со скоростью 25 нм/мин.

Электроэрозионная подгонка

Метод электроэрозионной подгонки основан на том, что резистивная пленка может быть избирательно удалена электрической искрой. При этом один полюс источника напряжения (U = 10-30 В) подсоединяют к резистору, другой к острию электрода. При касании электрода с пленкой проскакивает искра, которая испаряет или оксидирует участок пленки размером 10-100 мкм. Металлический электрод может колебаться с ультразвуковой частотой, благодаря чему создается ритмично непрерывный контакт с пленкой. Точность подгонки может достигать - 0,1%.

Статья в тему

Электромеханический следящий привод робота
Разработать электромеханический следящий привод «плечевой» степени подвижности двухзвенного плоского манипулятора робота, кинематическая схема которого изображена на рис. 1. Рис 1. Расчётная кинематическая схема манипуляционного механизма. Основные технические требова ...