Лазерная обработка

При воздействии светового излучения на поверхность ТПР происходит частичное его отражение, а частично лучи проникают во внутрь пленки, поглощаются в ней и достаточно быстро превращаются в тепло.

При этом удельная мощность может достигать 15-20 кВт/см . В результате такого воздействия резистивная пленка испаряется и сопротивление ТПР увеличивается. Такой метод очень прецизионный (точность до 0,01%), характеризуется малой шириной и чистотой реза, дает возможность подгонять резисторы из любых материалов, исключает повреждения близлежащих элементов.

Электронные и ионные методы подгонки

Электронно-лучевая подгонка обладает всеми преимуществами лазерной. Мощность пучка электронов может достигать 10 Вт/см. Однако для проведения такой подгонки необходим вакуум.

Ионно-лучевая обработка также проводится в вакууме. Здесь используется ионный (аргоновый) луч с плотностью тока ~ 0,5мА/см2. Такая энергия способна фрезеровать резистивные пленки со скоростью 25 нм/мин.

Электроэрозионная подгонка

Метод электроэрозионной подгонки основан на том, что резистивная пленка может быть избирательно удалена электрической искрой. При этом один полюс источника напряжения (U = 10-30 В) подсоединяют к резистору, другой к острию электрода. При касании электрода с пленкой проскакивает искра, которая испаряет или оксидирует участок пленки размером 10-100 мкм. Металлический электрод может колебаться с ультразвуковой частотой, благодаря чему создается ритмично непрерывный контакт с пленкой. Точность подгонки может достигать - 0,1%.

Статья в тему

Конструкторское проектирование микроконтроллерной системы формирования цифрового кода аналогового сигнала с применением САПР Proteus VSM
Актуальность использования автоматизированного проектирования печатных плат заключается в том, что в настоящее время практически во всех областях деятельности человека, касающихся высокопроизводительного прецизионного оборудования, робототехнических комплексов и вычислительной техники ...