Магнетронная распылительная система. изучение конструкции и принципа действия

Для упрощения операции сборки магнетрона и замены мишеней предусмотрена возможность частичной разборки. Для установки либо замены мишени достаточно снять прижим. Разрабатываемый магнетрон предназначен для распыления мишеней диаметром 80 мм и толщиной 5-7 мм.

Статья в тему

Корректировка номиналов тонкоплёночных элементов гибридных интегральных схем
Сопротивление пленочного резистора определяется па формуле R=ρ0l/b= ρ0Kф (1.1) где ρ0 - удельное поверхностное сопротивление резистивной пленки; l, b - длина и ши ...