Основные положения теории диффузии

Диффузией называется процесс переноса атомов в результате теплового движения. Направленная диффузия атомов в твердом теле возникает при наличии градиента концентрации или градиента температур. В полупроводниковой промышленности чаще применяется направленная диффузия с использованием градиента концентрации примеси.

Оборудование (диффузионные печи) должно обеспечивать изотермический нагрев с точностью не хуже ± 0,5°С на уровне 1100°С. Это вызвано тем, что коэффициент диффузии зависит от температуры как

(1)

где D0 - постоянная, численно равная коэффициенту диффузии при бесконечно большой температуре; DE - энергия активации диффузии (для основных диффузантов в кремнии составляет 3,5 - 4,3 эВ); k - постоянная Больцмана, эВ/К; T - температура.

Статья в тему

Автоматизация управление асинхронным электроприводом
Автоматизация - это комплексная конструктивно-технологическая задача создания принципиально новой техники на базе прогрессивных процессов обработки, контроля, сборки. Автоматизация технологических процессов есть совокупность мероприятий по разработке новых технологических проце ...