Global Informatics

- Информатика и вычислительная техника

Основные положения теории диффузии

Диффузией называется процесс переноса атомов в результате теплового движения. Направленная диффузия атомов в твердом теле возникает при наличии градиента концентрации или градиента температур. В полупроводниковой промышленности чаще применяется направленная диффузия с использованием градиента концентрации примеси.

Оборудование (диффузионные печи) должно обеспечивать изотермический нагрев с точностью не хуже ± 0,5°С на уровне 1100°С. Это вызвано тем, что коэффициент диффузии зависит от температуры как

(1)

где D0 - постоянная, численно равная коэффициенту диффузии при бесконечно большой температуре; DE - энергия активации диффузии (для основных диффузантов в кремнии составляет 3,5 - 4,3 эВ); k - постоянная Больцмана, эВ/К; T - температура.

Статья в тему

Светодиоды, их основные параметры и характеристики
Светодиоды, или светоизлучающие диоды (СИД, в английском варианте LED - light emitting diode) - полупроводниковый прибор, излучающий некогерентный свет при пропускании через него электрического тока (рисунок 1). Работа основана на физическом явлении возникновения светового излучения ...

Главные разделы


www.globalinformatics.ru © 2020 - Все права защищены!