Global Informatics
Заключается в создании на поверхности пленки слоя окисла того же металла путем электрохимической реакции. Обрабатываемую пленку соединяют с положительным полюсом источника питания, а дополнительный электрод-катод с отрицательным. Схема процесса приведена не рис. 4.
В качестве электролита служат растворы кислородосодержащих кислот, а также высоковязкие эластичные электролиты на основе желатина и глицерина.
Толщина окисной пленки будет пропорциональна прилагаемому напряжению:
Δd=kU (1.2)
где k - коэффициент пропорциональности.
При комнатной температуре для титана составляет около 22 А/В для тантала - 16 А/В.
В результате анодирования верхний слой резистивной пленки превращается в окисел, толщина ее уменьшается, и сопротивление ТПР возрастает.
При анодировании происходит не только подгонка ТПР, но и их защита стеклообразным практически беспористым слоем окисла, который характеризуется высокой стойкостью к климатическим и тепловым воздействиям, истиранию.
Процесс подгонки может осуществляться или по всей поверхности резистора или по его локальным участкам (рис. 1.2).Наиболее часто для подгонки ТПР применяют локальное анодирование. Он позволяет проводить подгонку даже в полностью собранной интегральной схеме перед ее герметизацией, с помощью зонда, на острие которого наносят пастообразную каплю электролита. Точность подгонки ТПР на основе вентильных металлов (Ti, Та, Nb, V, Аl) может достигать 0,005%.
Статья в тему
Исследование преимуществ совмещенных систем позиционирования GPS и ГЛОНАСС
Совмещенные приемники спутниковых радионавигационных систем (СРНС) GPS/ГЛОНАСС давно и успешно реализуются на рынке профессиональной аппаратуры для высокоточных применений. Прежде всего это геодезическая аппаратура, в которой использование двух СРНС позволяет сократить время разрешения неоднозначнос ...