Механическая обработка

Целью механической подгонки является изменение ширины или толщины тонкопленочного резистора (ТПР) путем удаления части резистивной пленки. Это делают соскабливанием, скрайбированием алмазным резцом, фрезеровкой бором, обработкой струей абразивного порошка. Наибольшее распространение получил последний вид подгонки. Он заключается в снятии части пленки с помощью выбрасывания потоком воздуха мелких (~ 20 мкм) абразивных частиц из форсунки. Интенсивность абразивной струи и количество абразивного порошка, попадающего в воpдушный поток регулируются. При скорости движения форсунки до 15 см/мин точность подгонки составляет +/- 0,3%. На крупных предприятиях воздушно-абразивную подгонку проводят с помощью автоматических установок производительностью 40000 резисторов в час.

Основными недостатками этого метода являются возможность повреждения близлежащих проводников, резисторов и нарушение защитного слоя последних. Также этот метод неэффективен для резистивных пленок твердых материалов.

Статья в тему

Оценка конструкторских и технологических параметров системы многослойных металлических межсоединений при разработке БИС
Транзистор - одно из важнейших изобретений ХХ столетия, повлекшее за собой появление полупроводниковых приборов и микросхем. Эти устройства стали основой электронных систем и привели к проникновению электроники во все важнейшие для жизнедеятельности человека отрасли - энергетик ...